식각 공정

(반도체 회로를 완성하는 조각 기술) [반도체 입문 시리즈 ④] 우리는 지난 글에서 노광 공정(Lithography)을 통해 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그리는 과정을 살펴봤습니다. 그런데 회로를 그렸다고 해서 바로 반도체가 완성되는 것은 아닙니다. 종이에 밑그림을 그린 뒤 조각칼로 필요한 부분만 남기고 깎아내야 작품이 완성되듯이, 반도체 역시 회로 패턴을 실제 구조로 만들어야 합니다. 이때 등장하는 공정이 바로 식각 … 더 읽기